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DVIA主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-20
  • 簡(jiǎn)要描述:DVIA主動(dòng)隔振光學(xué)平臺具有非常的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率,采用慣性傳感器,可以檢測出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補償,采用真蜂窩三層夾心式結構臺面,厚度可選100/200/300mm
  • 產(chǎn)品介紹

 DVIA主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

DVIA-MB,專(zhuān)門(mén)為SEM和TEM顯微鏡設計主動(dòng)隔振平臺

 DVIA主動(dòng)隔振光學(xué)平臺特點(diǎn):

 具有非常的隔振性能,特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率

 采用慣性傳感器,可以檢測出六個(gè)自由度的振動(dòng)并做補償

 采用真蜂窩三層夾心式結構臺面,厚度可選100/200/300mm

 進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

 隔振性能優(yōu)異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀 ,半導體檢測設備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

 技術(shù)指標:

 固有頻率:0.5-100Hz

 自動(dòng)平衡,響應時(shí)間短,平衡速度快

 鋼蜂巢內核:鋼制蜂窩芯,鋼板厚度0.25mm,每個(gè)蜂巢面積3.2cm²

 表面平整度:±0.1mm /600 mm²

 臺面:4.0mm厚度430 系列高導磁鎳合不銹鋼

 底面:4.0mm厚碳鋼,表面氧化處理

 邊墻板:2.0mm厚碳鋼,包裹高阻尼聚乙烯材料

 孔徑: M6 (英制螺孔可選)

 孔距:25mmX25mm(英制孔距可選),zui外邊孔距平臺邊緣37.5mm

 螺孔密封:每個(gè)螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封,方便清潔

 阻尼隔振方式:寬帶阻尼

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