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DVIO-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2024-05-20
  • 簡(jiǎn)要描述:DVIO-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機構和主動(dòng)隔振器 DVIA-M,每個(gè)支撐里面一般會(huì )有 4 個(gè) DVIA-M 系列主動(dòng)隔振器和一臺主控箱。主動(dòng)隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動(dòng)的驅動(dòng)器,主要消除 0.5-10Hz 的外部振動(dòng) , 被動(dòng)隔振系統部分同時(shí)承擔著(zhù)支撐負載和隔絕高頻率振動(dòng)的作用。
  • 產(chǎn)品介紹

說(shuō)明:
DVIO-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺為韓國 DAEIL(大一)株式會(huì )社生產(chǎn)的主動(dòng)隔振光學(xué)平臺,由臺面和主動(dòng)隔振支撐兩部分組成。
臺面采用真蜂窩三層夾心式結構,上臺面為 430 系列高導磁不銹鋼,臺面按照25mmX25mm 孔距均布 M6 螺紋孔,方便安裝儀器,每個(gè)螺紋孔下方具有獨立的隔離杯,方便清潔。中間是真蜂窩支撐結構,是把 0.25 毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結構,增加了臺面結構的密度,減小體積,采用先進(jìn)的粘合工藝,堅固耐用。臺面的底部和側板用鋼板作為主體材料,具有非常好的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)的剛性。
主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機構和主動(dòng)隔振器 DVIA-M,每個(gè)支撐里面一般會(huì )有 4 個(gè) DVIA-M 系列主動(dòng)隔振器和一臺主控箱。主動(dòng)隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動(dòng)的驅動(dòng)器,主要消除 0.5-10Hz 的外部振動(dòng) , 被動(dòng)隔振系統部分同時(shí)承擔著(zhù)支撐負載和隔絕高頻率振動(dòng)的作用。
這個(gè)系列的平臺可以在低頻范圍(0.5-10Hz)提供非常好隔振性能,它可以應用于很多對振動(dòng)要求非常高,甚至具有挑戰的領(lǐng)域,比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。

DVIO-MO系列主動(dòng)隔振光學(xué)平臺特點(diǎn):
• 具有非常好的隔振性能,特別是在低頻2Hz-10Hz達到90%以上的隔振效率。
• 采用慣性傳感器,可以檢測出六個(gè)自由度的振動(dòng),并做補償。
• 采用真蜂窩三層夾心式結構臺面,厚度可選100/200/300mm。
• 進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺。
• 隔振性能優(yōu)異,廣泛應用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡,掃面隧道顯微鏡,激光干涉儀 ,半導體檢測設備,三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

主動(dòng)隔振光學(xué)平臺技術(shù)指標:
• 隔振頻率:0.5~100Hz
• 自動(dòng)平衡,響應時(shí)間短,平衡速度快
• 鋼蜂巢內核:鋼制蜂窩芯,鋼板厚度0.25mm,每個(gè)蜂巢面積3.2cm²
• 表面平整度:±0.1mm /600mm×600mm
• 臺面:4.0mm厚度430 系列高導磁不銹鋼
• 底面:4.0mm厚鋼板,表面氧化處理

邊墻板:2.0mm厚鋼板,包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔徑: M6 (英制螺孔可選)
• 孔距:25mmX25mm(英制孔距可選),最外邊孔距平臺邊緣
37.5mm
• 螺孔密封:每個(gè)螺紋孔下方設有柱形隔離杯密封,方便清潔
• 阻尼隔振方式:寬帶阻尼