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RPJ系列射頻電源

RPJ 系列射頻電源依靠成熟的射頻發(fā)生技術(shù)為基礎(chǔ),為客戶提供更大的功率、精度更高、響應(yīng)快速的射頻電源。具有相位可設(shè)、脈沖可控等功能。適用領(lǐng)域:光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等。適用工藝:等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等。
零售價(jià)
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市場(chǎng)價(jià)
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產(chǎn)品編號(hào)
產(chǎn)品系列:
RPJ系列
數(shù)量
-
+
庫(kù)存:
0
產(chǎn)品描述
參數(shù)
型號(hào)定義
主要參數(shù)

● 半磚和機(jī)架式安裝方式
● 采用全數(shù)字控制,具有便捷和豐富的操作菜單
● 脈沖和脈沖同步功能
● 具備CEX相位同步功能
● 完善保護(hù)功能

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輸入

輸入電壓:3ΦAC208V±10%, 3ΦAC380V±5%, 47~63Hz

 

輸出

輸出頻率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

輸出功率:1.5kW~6kW

輸出功率調(diào)節(jié)范圍:1%~100%

輸出阻抗:50Ω+j0

輸出接口:N型

輸出模式:連續(xù)、脈沖

脈沖頻率:100Hz~20kHz

占空比:5%~95%

性能指標(biāo)

功率因數(shù):0.98

頻率穩(wěn)定精度:±0.005%

效率:75%(額定輸出時(shí))

諧波:<-45dBc

雜散:<-50dBc

 

控制特性

外部控制接口 模擬量、通訊、同步

通信方式 標(biāo)準(zhǔn)配置RS485通訊接口、可擴(kuò)展Ether CAT、工業(yè)以太網(wǎng)等

注:產(chǎn)品不斷創(chuàng)新,性能繼續(xù)提升,本參數(shù)說(shuō)明僅供參考。

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